晶圆装卸机晶圆载入机据介绍，Load Port用于半导体设备EFEM，作为从FOUPFOSB与设备交换wafer过程安全洁净的接口模。

思特威“图像传感器”实用新型专利获授权3华海清科公开“晶圆装卸装置及化学机械抛光系统”发明专利1传三星申请双屏下摄像。